特種氣體概況

工業(yè)氣體：工業(yè)“血液”

工業(yè)中，把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為工業(yè)氣體。工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)的基礎(chǔ) 原材料，在國民經(jīng)濟中有著重要的地位和作用，工業(yè)氣體行業(yè)原材料是空氣、工業(yè)廢氣、 基礎(chǔ)化學(xué)原料等，其上游行業(yè)是氣體分離及純化設(shè)備制造業(yè)、基礎(chǔ)化學(xué)原料行業(yè)、壓力 容器設(shè)備制造業(yè)等。下游領(lǐng)域包括集成電路、液晶面板、LED、光纖通信、光伏、醫(yī)療 健康、節(jié)能環(huán)保、新材料、新能源、高端裝備制造等新興行業(yè)以及冶金、化工、機械制 造等傳統(tǒng)行業(yè)，對國民經(jīng)濟的發(fā)展有著戰(zhàn)略性的支持作用，因此被喻為“工業(yè)的血液”。

根據(jù)制備方式和應(yīng)用領(lǐng)域的不同，工業(yè)氣體可分為大宗氣體和特種氣體，大宗氣體 主要包括氧、氮、氬等空分氣體及乙炔、二氧化碳等合成氣體，特種氣體品種較多，主 要包括電子特種氣體、高純氣體和標準氣體等。

特種氣體：現(xiàn)代工業(yè)“糧食”

特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類，是隨著近年來國防工業(yè)、科學(xué)研究、自動 化技術(shù)、精密檢測，特別是微電子技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的。20 世紀 80 年代，電子產(chǎn) 業(yè)的興起推動特種氣體的需求提高，外資開始通過收購、新設(shè)等方式建立氣體公司進入 中國氣體市場，向國內(nèi)氣體用戶提供氣體產(chǎn)品，隨著氣體供應(yīng)商供氣模式的引入，國內(nèi) 企業(yè)原有的氣體車間、氣體廠和供氣站等紛紛發(fā)展為獨立的氣體公司，國內(nèi)特種氣體市 場逐步發(fā)展起來。

從應(yīng)用領(lǐng)域劃分，特種氣體主要有電子氣體、高純氣體和標準氣體三種，廣泛應(yīng)用 于電子半導(dǎo)體、化工、醫(yī)療、環(huán)保和高端裝備制造等領(lǐng)域。其中，電子氣體是指用于半 導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體，目前，我國電子氣體品種基本齊全，但數(shù)量和質(zhì)量與 發(fā)達國家相比，尚有較大差距；高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達到的某個等級純 度的氣體，對于不同類別的氣體，純度指標不同，大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領(lǐng)域；標準氣體嚴格意義上應(yīng)稱為標準校正氣體，是一種高度均勻， 穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體，可分為單元標準氣體和多元標準氣體，目前標準氣基本 滿足了我國石油、化工、環(huán)保、傳感器校核等諸多領(lǐng)域的需求，但對活性較強的標準氣， 國內(nèi)尚無法徹底解決量產(chǎn)問題。

在 2018 年我國特種氣體年銷售額中，電子行業(yè)約占 41%，石油化工約占 39%，醫(yī)療 環(huán)保約占 10%，其它約占 10%。

電子氣體：電子工業(yè)“血液”

廣義的“電子氣體”指可用于電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體，是最重要原材料之一， 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域生產(chǎn)的特種氣體。電子氣體可以分為電 子特種氣體和電子大宗氣體。電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻 蝕、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“糧食” 和“源”。

電子氣體地位日益凸顯

近年來，隨著電子工業(yè)的快速發(fā)展，電子氣體在半導(dǎo)體行業(yè)中的地位日益凸顯。在 微電子、光電子器件生產(chǎn)過程中，從單個芯片生成到最后器件的封裝，幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子氣體，在不同的電子應(yīng)用領(lǐng)域中，電子特種氣體和電子大宗氣體 的成本占比略有不同。其中，集成電路領(lǐng)域，電子特種氣體和電子大宗氣體各自占比 50%。電子氣體的質(zhì)量很大程度上決定了半導(dǎo)體器件性能的好壞。電子氣體純度每提高 一個數(shù)量級，都會極大地推動半導(dǎo)體器件質(zhì)的飛躍。

電子氣體是僅次于大硅片的第二大市場需求半導(dǎo)體材料，電子氣體在 2016 年的半 導(dǎo)體材料市場占比達 14%。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，電子氣體市場也隨之增長。

電子特種氣體的下游應(yīng)用領(lǐng)域主要為電子半導(dǎo)體領(lǐng)域，具體又分為光伏、光纖通信、 LED、液晶面板和集成電路，電子特氣市場需求與下游產(chǎn)業(yè)景氣度關(guān)聯(lián)度較高。2018 年 中國集成電路、顯示面板、光伏三大下游對電子特氣的需求占比超過 90%。

電子特氣在電子產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用

1）電子氣體在集成電路領(lǐng)域的應(yīng)用

特種氣體是半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐材料，處于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的 上游，被稱為半導(dǎo)體的“源”，主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。

化學(xué)氣相沉積(CVD)：是通過氣體混合的化學(xué)反應(yīng)，在硅片表面沉積一層固體膜的 工藝，通常包括氣體傳輸至沉積區(qū)域、膜先驅(qū)物的形成、膜先驅(qū)物附著在硅片表面、膜 先驅(qū)物粘附、膜先驅(qū)物擴散、表面反應(yīng)、副產(chǎn)物從表面移除、副產(chǎn)物從反應(yīng)腔移除等八 個主要步驟?；瘜W(xué)氣相沉積常用的特種氣體包括:SiH4、DCS、TCS、SiCl4、TEOS、NH3、 N2O、WF6、H2、O2。

刻蝕：是采用化學(xué)和物理方法，有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程，刻 蝕的目的是在涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩膜圖形，可分為濕法刻蝕和干法刻蝕。硅片的 刻蝕氣體主要是氟基氣體，包括 CF4、CF4/O2、SF6、C2F6/O2、NF3 等，但由于其各向同 性，選擇性較差，因此改進后的刻蝕氣體通常包括氯基(Cl2)和溴基(Br2、HBr)氣體。 鋁和金屬復(fù)合層的刻蝕通常采用氯基氣體，如 CCl4、Cl2、BCl3 等。

摻雜：是將需要的雜質(zhì)摻入特定的半導(dǎo)體區(qū)域中，以改變半導(dǎo)體電學(xué)性質(zhì)，形成 pn 結(jié)、電阻、歐姆接觸等。常用的三價摻雜氣體有 B2H6、BBr3、BF3 等，常用的五價摻 雜氣體有 PH3、POCl3、AsH3、SbCl5 等。

2）電子氣體顯示面板領(lǐng)域應(yīng)用

薄膜晶體管（TFT）和液晶顯示器（LCD）具有體積小、重量輕、低輻射、低耗電量、 全彩化、速度快、對比度和亮高、屏幕觀察角度大、分辨率高等優(yōu)點，是目前主流的平 面顯示設(shè)備。TFT/LCD 的生產(chǎn)包括 TFT 陣列(包括薄膜、光刻、刻蝕)、彩色濾光片(包 括黑矩陣膜、紅綠藍膜、透明導(dǎo)電層)、面板、模組等工序。薄膜工序，通過化學(xué)氣相 沉積，在玻璃基板上沉積 SiO2、SiNx、a2Si、n 型 a2Si 薄膜，使用的特種氣體有 SiH4、 PH3、NH3、NF3 等；干法刻蝕工序，在等離子氣態(tài)氛圍中選擇性腐蝕基材，通常采用 SF6、 HCl、Cl2 等氣體。

3）電子氣體在太陽能電池中的應(yīng)用

太陽能電池分為晶體硅太陽能電池和薄膜太陽能電池，薄膜太陽能電池分為非晶硅 (a-Si)薄膜和非晶/微晶硅(a-Si/μc-Si)疊層薄膜。晶體硅電池片生產(chǎn)中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。

下游需求旺盛，引領(lǐng)特氣行業(yè)高增長

下游產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，引領(lǐng)特氣行業(yè)高增長

我國特種氣體行業(yè)在 2006 年后進入快速發(fā)展階段，廣泛應(yīng)用于集成電路、顯示面 板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、航空航天、環(huán)保和醫(yī)療等新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，在《十 三五國家戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》等產(chǎn)業(yè)政策的推動下，特種氣體的下游產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展， 同時產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新、技術(shù)迭代帶來新工藝和新產(chǎn)品等，不僅在規(guī)模上增加了特種氣體的需求， 也進一步拓寬了特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域，不斷產(chǎn)生新的特種氣體產(chǎn)品需求。

1）半導(dǎo)體行業(yè)：產(chǎn)業(yè)鏈向國內(nèi)轉(zhuǎn)移，市場持續(xù)增長

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向國內(nèi)轉(zhuǎn)移。從區(qū)域分布看，根據(jù) WSTS 統(tǒng)計數(shù)據(jù)，亞太地區(qū)市場規(guī)模 占全球市場的比例不斷提高，亞太與日本市場合計約占全球半導(dǎo)體市場的 70%左右， 2017 年，全球半導(dǎo)體市場規(guī)模為 4122.21 億美元，同比增長 21.6%，2018 年全球半導(dǎo) 體市場保持增長勢頭，市場規(guī)模達到 4779.40 億美元，同比增長 15.90%；從芯片銷售 額看，根據(jù) WSTS 發(fā)布的數(shù)據(jù)，2016 年中國半導(dǎo)體消費額 1075 億美元，占全球總量的 32%，已成為全球最大的半導(dǎo)體消費市場。隨著國內(nèi)制造業(yè)環(huán)節(jié)快速發(fā)展，以及國內(nèi)巨 大的消費市場和勞動力人口優(yōu)勢，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)將加快向國內(nèi)轉(zhuǎn)移，世界市場份額不斷向 中國集中。

半導(dǎo)體行業(yè)持續(xù)增長。全球半導(dǎo)體市場規(guī)模近年來增速平穩(wěn)，2012-2018 年復(fù)合增 速 8.23%。其中，中國大陸集成電路銷售規(guī)模從 2158 億元迅速增長到 2018 年的 6531 億元，復(fù)合增速為 20.27%，遠超全球其他地區(qū)，全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)加速向大陸轉(zhuǎn)移。2014 年國家發(fā)布了《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》并設(shè)立了投資產(chǎn)業(yè)基金，根據(jù)規(guī)劃我 國集成電路銷售額平均增速將保持在 20%，因此半導(dǎo)體集成電路電子用氣市場規(guī)模有望 快速增長。

2）顯示面板行業(yè)：尺寸大型化發(fā)展，市場平穩(wěn)增長

全球顯示面板行業(yè)穩(wěn)定增長。全球平板顯示產(chǎn)業(yè)保持平穩(wěn)增長，業(yè)態(tài)發(fā)展呈現(xiàn)尺寸 大型化、競爭白熱化、轉(zhuǎn)移加速化和產(chǎn)品定制化等特點，受益于電視平均尺寸增加以及 大屏手機、車載顯示和公共顯示等需求的拉動，根據(jù) IHS 預(yù)測，2016 年-2025 年全球新 型顯示面板需求面積的 CAGR 預(yù)計將達 4%，到 2025 年增長至 2.66 億平方米。

我國面板顯示行業(yè)市占率不斷提升。受益于國家政策的支持，我國面板顯示行業(yè)逐 漸發(fā)展起來，在全球的市占率也逐步提高，2011 年中國大陸大尺寸面板占全球比例約 為 1%，經(jīng)過多年的發(fā)展，2018 年上升至 42%，大尺寸面板產(chǎn)能為 78.9 百萬平方米/年， 預(yù)計 2020 年達到 125.9 百萬平方米/年。

LCD 市場，近年來我國面板廠商繼續(xù)加快高世代液晶面板生產(chǎn)線的建設(shè)與投產(chǎn)， 2019-2021 年將有 8 條產(chǎn)線陸續(xù)投產(chǎn)，合計產(chǎn)能超過 6000 萬平方米，預(yù)計到 2021 年中 國將占到全球 58%的市場份額。在 OLED 市場方面，目前是韓國占據(jù)主導(dǎo)地位，但國內(nèi)面板廠商近年來不斷提高 OLED 技術(shù)，同時加快布局 OLED 生產(chǎn)線。預(yù)計未來國內(nèi) OLED 面板產(chǎn)能將會得到快速的釋放，據(jù) DSCC 預(yù)測，中國 OLED 面板市場份額到 2025 年將會 快速增長至 43%。

3）光伏行業(yè)：國家政策支持，市場快速增長

中國光伏產(chǎn)業(yè)起步較晚但呈現(xiàn)迅速發(fā)展的勢頭。2010 年后，在歐洲經(jīng)歷光伏產(chǎn)業(yè) 需求放緩的背景下，我國光伏產(chǎn)業(yè)迅速崛起，成為全球光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主要動力，2018 年全國新增光伏并網(wǎng)裝機容量達到 44GW，同比下降 17%，累計光伏裝機并網(wǎng)容量超過 174GW，2019 年，我國新增光伏并網(wǎng)裝機容量達到 30.1GW，同比下降 32.0%，累計光伏 并網(wǎng)裝機量達到 204.3GW，同比增長 17.1%，盡管在政策調(diào)整下，整體光伏市場有所下 滑，受益于海外市場的增長，我國光伏產(chǎn)業(yè)規(guī)模穩(wěn)步擴大、技術(shù)創(chuàng)新不斷推進、出口增 速不斷提升。自 2013 年至 2019 年我國新增和累計裝機容量均為全球第一，預(yù)計 2020 年光伏新增裝機量超過 35GW，較 2019 年有所回升，累計裝機有望達到約 240GW。

氣體市場持續(xù)發(fā)展

全球工業(yè)氣體市場近年來呈現(xiàn)穩(wěn)步增長的態(tài)勢，2018 年全球工業(yè)氣體市場規(guī)模約 為 1220 億美元。目前，全球工業(yè)氣體需求的主要市場仍然是北美和歐洲，但增速顯著 放緩；亞太地區(qū)近年來發(fā)展很快，已成為拉動全球市場增長的主要引擎。

我國工業(yè)氣體行業(yè)在 80 年代末期已初具規(guī)模，到 90 年代后期開始快速發(fā)展。近年 來我國工業(yè)氣體行業(yè)發(fā)展迅速，市場規(guī)模由 2010 年的 410 億元上升至 2018 年的 1350 億元，2010-2018 年年均復(fù)合增長率達到 16.05%。與發(fā)達國家相比，我國人均工業(yè)氣體 消費量還處在較低水平，根據(jù) 2018 年的人均工業(yè)氣體消費量統(tǒng)計，我國的人均工業(yè)氣 體消費只有美國的 1/26，不足西歐與澳洲的 1/20，與南美和東歐國家也有較大差距， 未來仍有很大的發(fā)展?jié)摿Α?/p>

新興分散用氣市場逐漸興起。工業(yè)氣體市場較為復(fù)雜，可大致分為大宗集中用氣市 場和新興分散用氣市場，其中大宗集中用氣市場主要是傳統(tǒng)行業(yè)，包括冶金、煉化和煤 化工等，對氣體需求品種單一且使用量巨大，而新興分散用氣市場主要是高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)， 包括電子制造、光伏和生物醫(yī)藥等。鋼鐵、化工等傳統(tǒng)大宗用氣市場規(guī)模相對較為穩(wěn)定， 用氣品類也較為單一，新興分散零售市場用氣數(shù)量和種類在工業(yè)氣體應(yīng)用中占比越來越 高，由 2007 年占比 40%提升至 2015 年 52%，有逐漸超過傳統(tǒng)行業(yè)用氣市場需求的趨勢。

全球特種氣體行業(yè)保持平穩(wěn)增長態(tài)勢。全球特種氣體市場規(guī)模由 2010 年 200 億美 元增長至 2018 年 421 億美元，年均復(fù)合增長率為 9.75%。根據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院預(yù)測， 未來數(shù)年全球特種氣體市場規(guī)模將以年均 9%的速度增長，預(yù)計 2024 年全球特種氣體市 場規(guī)模將達到 706 億美元。從地區(qū)分布來看，美洲是全球特種氣體市場規(guī)模最大的地區(qū)， 占比約為 45.17%，其次為歐洲、中東和非洲市場占比 31.40%，亞太地區(qū)占比最小為 23.43%。預(yù)計至 2020 年，亞太地區(qū)特種氣體需求增長最快，市場規(guī)模將達到 168 億美 元，所占比重提升至 25.80%；美洲地區(qū)需求增長有所放緩，市場規(guī)模為 253 億美元， 占比降至 38.90%。

我國特種氣體行業(yè)市場規(guī)模呈現(xiàn)穩(wěn)定上升趨勢。特氣行業(yè)市場規(guī)模由 2010 年 118.14 億元增長至 2018 年 296.49 億元，年均復(fù)合增長率為 12.19%，預(yù)計未來五年我 國特種氣體市場持續(xù)增長，2019-2024 年特種氣體市場增速可以達到 12%左右，2024 年 市場規(guī)模中性預(yù)測可達 1087 億元，保守預(yù)計將達到 915 億元。

我國電子特種氣體市場規(guī)模保持快速發(fā)展。電子特氣市場規(guī)模由 2010 年 38.99 億 元增長至 2018 年 121.56 億元，年均復(fù)合增長率為 15.21%，電子特氣市場規(guī)模占我國 特氣市場規(guī)模的份額也在逐步提升，2018 年占比達到 20.8%。從細分領(lǐng)域來看，應(yīng)用于 半導(dǎo)體領(lǐng)域的電子特氣市場規(guī)模占比不斷提高，2018 年半導(dǎo)體領(lǐng)域需求市場規(guī)模達 85 億元。2014 年《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》提出到 2020 年集成電路全行業(yè)銷售 收入年均增速超過 20%，隨后國家出臺一系列相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策支持集成電路行業(yè)的發(fā)展， 未來集成電路行業(yè)將持續(xù)保持增長，預(yù)計到 2024 年我國電子特氣市場規(guī)模將會達到 230 億元。

外企寡頭壟斷，國產(chǎn)化勢在必行

行業(yè)具有較高的進入門檻

特氣行業(yè)具有較高的進入壁壘。特種氣體在其生產(chǎn)過程中涉及合成、純化、混合氣 配制、充裝、分析檢測和氣瓶處理等多項工藝技術(shù)，以及客戶對純度、精度等的高要求， 對行業(yè)的擬進入者形成了較高的技術(shù)壁壘。除較高的技術(shù)壁壘外，特種氣體行業(yè)還存在 著客戶認證壁壘、資金壁壘、市場壁壘、資質(zhì)壁壘以及人才壁壘，因此，由于行業(yè)較高 的進入門檻，我國高端特種氣體市場一直被幾家外資氣體巨頭公司所占據(jù)，雖然在傳統(tǒng) 及中低端產(chǎn)品方面，我國已經(jīng)形成了規(guī)模優(yōu)勢，但在高端氣體尤其是特氣方面，我國的 差距還是比較明顯。

外企寡頭壟斷，市場高度集中

經(jīng)過多年的發(fā)展和兼并收購，全球工業(yè)氣體市場多頭壟斷的市場格局。2018 年 10 月 23 日，德國林德集團官方宣布與美國普萊克斯集團完成對等合并，成為全球最大的 工業(yè)氣體業(yè)務(wù)供應(yīng)商，合并后三大氣體巨頭林德集團、液化空氣、空氣化工占據(jù)全球工 業(yè)氣體外包市場 76.71%的份額，市場高度集中。

全球半導(dǎo)體用電子氣體市場中，2018 年，空氣化工、林德集團、液化空氣和大陽 日酸等四大公司控制著全球 90%以上的市場份額，形成寡頭壟斷的局面。在國內(nèi)市場， 海外四大氣體巨頭控制了我國電子特氣市場 88%的份額，國內(nèi)氣體公司市場份額合計僅 占 12%，國內(nèi)企業(yè)占比較低。國內(nèi)電子氣體起步較晚，在技術(shù)上與國外有一定差距，目 前一些電子氣體實現(xiàn)了國產(chǎn)化，如超純氨、氧化亞氮、氟碳類氣體等，但包括氦氣在內(nèi) 的大多數(shù)電子氣體仍以進口為主，未來我國電子氣體進口替代空間較大。

政策大力支持，國產(chǎn)化勢在必行

國家產(chǎn)業(yè)政策支持助推行業(yè)快速發(fā)展。特種氣體作為關(guān)鍵性材料，應(yīng)用廣泛，特別 是在集成電路、顯示面板、光伏能源和光纖光纜等新興領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。近年來特氣 行業(yè)得到國家政策的大力支持，國家發(fā)改委、科技部、工信部和財政部等多部門相繼出 臺多部新興產(chǎn)業(yè)相關(guān)政策，均明確提及并部署了氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，并且對于特種氣體確 立了其新材料產(chǎn)業(yè)屬性，有力推動了氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

國內(nèi)特種氣體發(fā)展的初期由于技術(shù)、工藝、設(shè)備等多方面差距明顯，產(chǎn)品大多依賴 進口。從特種氣體進出口金額來看，我國進口金額遠遠大于出口金額，2017 年，我國特種氣體進口金額為 125.85 億美元，出口金額為 8.57 億美元。隨著技術(shù)的逐步突破， 國內(nèi)氣體公司在電光源氣體、激光氣體、消毒氣等領(lǐng)域發(fā)展迅速，但與國外氣體公司相 比，大部分國內(nèi)氣體公司的供應(yīng)產(chǎn)品仍較為單一，用氣級別不高，尤其在集成電路、顯 示面板、光伏能源、光纖光纜等高端領(lǐng)域，相關(guān)特種氣體產(chǎn)品主要依賴進口。隨著國內(nèi) 這些下游新興產(chǎn)業(yè)的技術(shù)更迭和快速發(fā)展，而且特種氣體作為危險化學(xué)品，產(chǎn)品包裝、 運輸有嚴格的規(guī)定，相較于國外企業(yè)，國內(nèi)特種氣體企業(yè)物流成本更低，供貨更及時， 同時國內(nèi)產(chǎn)品價格具有明顯的優(yōu)勢，因此，特種氣體國產(chǎn)化是未來行業(yè)發(fā)展的必然趨勢。

我國特種氣體市場中，國內(nèi)氣體企業(yè)雖然數(shù)量眾多，但普遍規(guī)模較小，且一般為區(qū) 域性企業(yè)，截至 2017 年底，我國特種氣體行業(yè)規(guī)模以上企業(yè)數(shù)量達到 211 家，較上年 增加 4 家，保守估計 2018 年我國特種氣體企家數(shù)量為 225 家。國內(nèi)主要企業(yè)有中船重 工七一八所、黎明化工研究院、綠菱氣體、金宏氣體、南大光電和華特氣體。盡管與國 際氣體公司相比，國內(nèi)氣體公司在資金、技術(shù)、設(shè)備等方面仍有差距，但在技術(shù)不斷突 破、國家政策大力扶持、下游市場發(fā)展迅速等多重因素影響下，加上國內(nèi)企業(yè)擁有的國 際企業(yè)無法比擬的低成本、貼近客戶、反應(yīng)靈活等優(yōu)勢，國內(nèi)氣體企業(yè)的競爭力將不斷 增強，市場份額有望擴大。

相關(guān)企業(yè)分析

華特氣體：特種氣體國產(chǎn)化先行者

核心技術(shù)打破特氣進口制約，訂單實現(xiàn)增長。廣東華特氣體股份有限公司創(chuàng)建于 1999 年，主營業(yè)務(wù)以特種氣體的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售為核心，以普通工業(yè)氣體和相關(guān)氣 體設(shè)備與工程業(yè)務(wù)為輔。公司的特種氣體產(chǎn)品至今已有約 230 余種，率先實現(xiàn)了包括高 純四氟化碳、高純六氟乙烷、光刻氣、高純二氧化碳等近 20 種產(chǎn)品的進口替代，是中 國特種氣體國產(chǎn)化的先行者。同時，公司向下游半導(dǎo)體客戶持續(xù)導(dǎo)入新產(chǎn)品以及下游客 戶開始擴產(chǎn)，如中芯國際的寧波中芯、中芯南方、紹興中芯等多條產(chǎn)線量產(chǎn)，華虹宏力 無錫生產(chǎn)線量產(chǎn)，長江存儲、華潤微電子重慶生產(chǎn)線擴產(chǎn)，特種氣體從此類半導(dǎo)體領(lǐng)域 的老客戶中的銷售收入將實現(xiàn)增長。

客戶資源優(yōu)質(zhì)，境內(nèi)外業(yè)務(wù)兼顧。公司擁有國內(nèi)一線客戶，進入國際半導(dǎo)體供應(yīng)鏈。 公司的客戶可分為為終端客戶和氣體公司，終端客戶以集成電路等半導(dǎo)體領(lǐng)域為主，主 要包括中芯國際、華虹宏力、華潤微電子等國內(nèi)知名客戶等；氣體公司客戶以海外大型 氣體公司為主，包括液化空氣集團、普萊克斯集團、大陽日酸株式會社、林德集團等。 公司注重海外業(yè)務(wù)的拓展，是國內(nèi)最早從事氣體進出口業(yè)務(wù)的氣體企業(yè)之一，在氣體出 口規(guī)模上處于國內(nèi)領(lǐng)先地位。2016-2018 年，公司的境外主營業(yè)務(wù)收入分別為 1.50 億 元、1.32 億元、1.60 億元，占主營業(yè)務(wù)收入的比例分別為 23.10%、16.90%、19.76%。

產(chǎn)能陸續(xù)投放，保障公司發(fā)展。華特氣體于 2019 年底在科創(chuàng)板上市，公司本次公 開發(fā)行股票不超過 3000 萬股，計劃募集資金 4.5 億元，公司擬投資 3.48 億元用于氣體 中心建設(shè)及倉儲經(jīng)營項目，根據(jù)測算，項目達產(chǎn)后可新增營收 3.32 億元，內(nèi)部收益率 為 18.25%，投資回收期為 7.58 年。公司擬投資 0.9 億元開展電子氣體生產(chǎn)純化及工業(yè) 氣體充裝項目。根據(jù)測算，本項目建設(shè)期為 36 個月，項目達產(chǎn)后可新增營收 1.73 億元， 項目內(nèi)部收益率為 21.29%，投資回收期為 6.43 年。此外，公司還擬投資智能化運營項 目提升公司智能化管理水平、運營效率及產(chǎn)品安全性水平，補充流動資金以增強公司的 運營能力和市場競爭力。

昊華科技：電子特氣行業(yè)領(lǐng)軍者

重組 11 家化工研究院實現(xiàn)整體上市。公司的前身天科股份，以碳一化學(xué)技術(shù)及催 化劑的生產(chǎn)銷售為主營業(yè)務(wù)，于 2001 年 1 月在上交所掛牌上市，2018 年，公司收購晨 光院、黎明院、西北院、光明院、曙光院、沈陽院、海化院、大連院、錦西院、株洲院 和北方院 100%股權(quán)，公司業(yè)務(wù)范圍及結(jié)構(gòu)實現(xiàn)拓展、優(yōu)化，從以提供技術(shù)服務(wù)為主導(dǎo) 的業(yè)務(wù)模式轉(zhuǎn)變?yōu)橐援a(chǎn)品、研發(fā)、生產(chǎn)及銷售一體化發(fā)展的經(jīng)營模式，主營業(yè)務(wù)為氟材 料、特種氣體、特種橡塑制品、精細化學(xué)品和技術(shù)服務(wù)五大板塊。重組后公司轉(zhuǎn)型升級 為先進材料、特種化學(xué)品及創(chuàng)新服務(wù)提供商。2019 年 6 月，公司更名為昊華科技。

電子特氣技術(shù)領(lǐng)先企業(yè)。公司子公司黎明院是最早從事六氟化硫研發(fā)的企業(yè)，亦是 國內(nèi)僅有的高純度六氟化硫研制企業(yè)。三氟化氮主要應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的氣體清洗劑， 液晶顯示行業(yè)的蝕刻劑和太陽能電池制造業(yè)的蝕刻和清洗氣體。公司與京東方等下游領(lǐng) 先企業(yè)建立了穩(wěn)固合作關(guān)系，是國內(nèi)領(lǐng)先三氟化氮供應(yīng)商。此外，公司自主研發(fā)生產(chǎn)的 硒化氫和綠色四氧化二氮等，已成功實現(xiàn)進口替代，在細分軍品領(lǐng)域內(nèi)，具有領(lǐng)先優(yōu)勢。 光明院是是我國重要的特種氣體研究、生產(chǎn)基地，承擔過多項國家各類科技項目。主要 產(chǎn)品包括綠色四氧化二氮、高純硒化氫、高純硫化氫、二氧化碳-環(huán)氧乙烷混合氣、標 準混合氣體。光明院曾為中國載人航天工程協(xié)作配套工作、“嫦娥工程”等項目做出貢 獻，在國防化工新材料、半導(dǎo)體集成電路、氣體分析具有行業(yè)領(lǐng)先優(yōu)勢。

重組后公司業(yè)績保持增長。2018 年為公司重大資產(chǎn)重組之年，公司全年營業(yè)收入 達到 41.82 億元，營收的大幅增長來源于中昊晨光化工研究院等 11 家公司并入報表， 同口徑下營業(yè)收入較 2017 年度增長 14.7%。2019 年公司實現(xiàn)營業(yè)收入 47.01 億元，同 比增長 10.55%；歸母凈利潤 5.25 億元，同比下降 0.75%。公司營收結(jié)構(gòu)中，氟材料、 精細化學(xué)品和特種橡膠產(chǎn)品三者合計占營收比例超過 90%，特種氣體占營收比例不斷提 升，由 2018 年占比 7.75%提升至 2019 年 8.91%。

金宏氣體：國內(nèi)氣體行業(yè)民營龍頭

華東地區(qū)重要的特種氣體和大宗氣體供應(yīng)商。公司成立于 1999 年，2014 年在新三 板上市，2020 年公司終止新三板掛牌，在科創(chuàng)板上市。公司是一家專業(yè)從事氣體研發(fā)、 生產(chǎn)、銷售和服務(wù)的環(huán)保集約型綜合氣體供應(yīng)商。公司目前已初步建立品類完備、布局 合理、配送可靠的氣體供應(yīng)和服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，能夠為電子半導(dǎo)體、醫(yī)療健康、節(jié)能環(huán)保、新 材料、新能源、高端裝備制造等行業(yè)客戶提供特種氣體、大宗氣體和天然氣三大類 100 多個氣體品種。根據(jù)中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會的統(tǒng)計，2017-2018 年公司銷售額連續(xù)兩年 在協(xié)會的民營氣體行業(yè)企業(yè)統(tǒng)計中名列第一。

研發(fā)能力突出，擁有優(yōu)質(zhì)客戶資源。公司目前擁有 150 項專利，其中發(fā)明專利 32 項，主導(dǎo)或參與制定多項國家標準，擁有氣體行業(yè)中唯一專注于電子氣體研發(fā)的國家企 業(yè)技術(shù)中心、CNAS 實驗室，多次承擔國家科技部火炬項目。公司與國內(nèi)電子半導(dǎo)體領(lǐng) 域的眾多知名企業(yè)建立了合作關(guān)系，例如集成電路行業(yè)的聯(lián)芯集成、華潤微電子、華力 微電子、矽品科技、士蘭微等，液晶面板行業(yè)的京東方、三星電子等，LED 行業(yè)的三安 光電、聚燦光電、乾照光電、華燦光電等，光纖通信行業(yè)的亨通光電、富通集團、住友 電工，光伏行業(yè)的通威太陽能、天合光能、隆基股份等。

與外資企業(yè)錯位競爭。公司目前的供氣模式以零售供氣為主，中小型現(xiàn)場制氣為輔， 氣體品種較全，超純氨、高純氧化亞氮等特種氣體品質(zhì)已達到進口替代水平。相比于外 資氣體企業(yè)以大型現(xiàn)場制氣為主的供氣方式，公司銷售的瓶裝氣、儲槽氣可較好地滿足 廣大中小型企業(yè)的用氣需求，從而在細分市場與外資企業(yè)形成錯位競爭優(yōu)勢。

募投項目提升公司競爭力。公司向社會公眾公開發(fā)行不超過 12108.34 萬股人民幣 普通股，募集資金用于投資“張家港金宏氣體有限公司超大規(guī)模集成電路用高純氣體項 目”、“蘇州金宏氣體股份有限公司研發(fā)中心項目”、“年充裝 392.2 萬瓶工業(yè)氣體項目”、 “年充裝 125 萬瓶工業(yè)氣體項目”、“智能化運營項目”和“發(fā)展與科技儲備資金”六個 項目。募投項目建成后，公司的工業(yè)氣體充裝產(chǎn)能和研發(fā)生產(chǎn)能力將大大提高，智能化和安全性水平也將得到提升，有助于公司搶占市場先機，同時能夠在一定程度上提升公 司市場占有率。

和遠氣體：華中知名民營專業(yè)氣體企業(yè)

華中地區(qū)知名民營專業(yè)氣體企業(yè)。公司致力于各類氣體產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、 服務(wù)以及工業(yè)尾氣回收循環(huán)利用，公司經(jīng)營的主要氣體可大致分為三類：普通氣體、特 種氣體以及清潔能源。主要滿足化工、食品能源、照明、家電、鋼鐵、機械、農(nóng)業(yè)等基 礎(chǔ)行業(yè)和光伏、通信、電子、醫(yī)療等新興產(chǎn)業(yè)對氣體和清潔能源的需求。目前，公司銷 售服務(wù)網(wǎng)絡(luò)覆蓋湖北全境并輻射華中地區(qū)，是華中地區(qū)知名的綠色環(huán)保型綜合氣體專業(yè) 供應(yīng)商。

差異化技術(shù)路線打造公司獨特競爭力。公司除了以空分氣體的生產(chǎn)與銷售為業(yè)務(wù)核 心體系外，率先將氣體分離技術(shù)應(yīng)用于以工業(yè)尾氣回收循環(huán)再利用為核心的環(huán)保產(chǎn)業(yè)， 并成功實施了“興發(fā)集團離子膜燒堿尾氫回收提純”、“三寧合成氨馳放氣尾氣回收”、 “烽火科技尾氦提純循環(huán)利用”、“新疆晶科單晶硅氬氣尾氣回收循環(huán)再利用項目”等一 系列項目。為客戶低成本、有效的解決了危廢處理，形成資源的循環(huán)再利用，同時為公 司在工業(yè)尾氣回收領(lǐng)域建立起良好的品牌效應(yīng)，拓展了市場空間，在市場上形成了有別 于其他氣體公司的獨特競爭力。

擁有優(yōu)質(zhì)客戶資源。公司經(jīng)過多年的發(fā)展，在華中地區(qū)各個行業(yè)積聚了一批優(yōu)質(zhì)的 客戶。其中工業(yè)氣體客戶包括興發(fā)集團、烽火通信、格力電器、美的集團、晶科能源、 武鋼氣體、三寧化工等上市公司和國內(nèi)知名企業(yè)；食品級液氮客戶包括頂津食品、紅牛 飲品、百事食品、伊利乳業(yè)、匯源果汁、銀鷺集團等多家知名食品企業(yè)；醫(yī)用氧客戶包 括武漢兒童醫(yī)院、宜昌市中心醫(yī)院等大型醫(yī)療機構(gòu)。與這些優(yōu)質(zhì)客戶長期互信的合作， 使公司形成良好的品牌效應(yīng)，從而不斷的提升市場占有率，持續(xù)保持區(qū)域行業(yè)內(nèi)的領(lǐng)先 地位。

業(yè)績持續(xù)增長。公司營業(yè)收入保持穩(wěn)定增長，2019 年公司營業(yè)收入為 6.66 億元，同比上升 6.57%，歸母凈利潤為 0.85 億元，同比上升 12.17%，其中，公司營收主要貢 獻來源為普通氣體，占比超過 65%。特種氣體占主營業(yè)務(wù)收入比例不斷提升，占比由 2016 年 6.55%上升至 2019 年 7.82%，2019 年特氣營業(yè)收入為 5208.91 萬元。

雅克科技：半導(dǎo)體新材料龍頭企業(yè)

半導(dǎo)體新材料龍頭企業(yè)。江蘇雅克科技股份有限公司成立于 1997 年，2010 年 5 月 于深交所上市。公司以阻燃劑業(yè)務(wù)為基礎(chǔ)，2018 年，公司通過外延并購，成功切入半 導(dǎo)體封裝材料領(lǐng)域、電子特氣領(lǐng)域、IC 材料等領(lǐng)域，逐步發(fā)展成為以新型復(fù)合材料和 半導(dǎo)體材料為發(fā)展核心的綜合型企業(yè)。目前，公司從事的主要業(yè)務(wù)包括有機磷系阻燃劑 業(yè)務(wù)、LNG 用保溫絕熱板材業(yè)務(wù)、硅微粉業(yè)務(wù)、半導(dǎo)體化學(xué)材料業(yè)務(wù)以及電子特氣業(yè)務(wù)，產(chǎn)品可應(yīng)用于家居建材、交通工具、電子元器件、液化天然氣儲運設(shè)備、集成電路封裝、 半導(dǎo)體設(shè)備等方面。

科美特為國內(nèi)含氟電子特氣龍頭。雅克科技電子特種氣體主要通過子公司科美特運 營，公司于 2018 年收購并表?？泼捞爻闪⒂?2006 年 1 月 23 日，專注于含氟類特種氣 體的研發(fā)、生產(chǎn)、提純與銷售。目前具備六氟化硫產(chǎn)能 8500 噸/年和電子級四氟化碳 1200 噸/年?？泼捞卦诟呒兌裙I(yè)六氟化硫和電子級四氟化碳的研究方面處于國內(nèi)領(lǐng)先 的地位，已與國內(nèi)外知名的輸配電及控制設(shè)備企業(yè)建立了長期穩(wěn)定的合作關(guān)系，主要客 戶包括西電集團、平高集團、山東泰開、新東北、思源電氣、ABB 等。同時通過林德氣 體、綠菱氣體、WONIKSMATERIALS 等氣體商大量出口至中國臺灣、韓國、美洲以及歐盟等世 界各地。

電子特氣業(yè)務(wù)快速發(fā)展。公司業(yè)績整體呈現(xiàn)增長狀態(tài)，2019 年營業(yè)收入為 18.32 億元，同比增長 18.42%，歸母凈利潤為 2.93 億元，同比增長 120.20%。自并表以來， 公司電子特氣業(yè)務(wù)保持快速發(fā)展，2018 年-2019 年，公司電子特氣業(yè)務(wù)營收分別為 2.57 億元和 3.95 億元，占公司營業(yè)收入比例分別為 16.6%和 21.57%，毛利率水平分別為 44.35%和 50.89%。

南大光電：國內(nèi)電子材料行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)

積極布局多維業(yè)務(wù)。江蘇南大光電材料股份有限公司成立于 2000 年，2012 年在創(chuàng) 業(yè)板上市，公司成立初期主營業(yè)務(wù)為主要業(yè)務(wù)高純金屬有機化合物(MO 源)的研發(fā)、生 產(chǎn)和銷售，是全球 MO 源領(lǐng)導(dǎo)供應(yīng)商之一。公司積極拓展新的領(lǐng)域，通過設(shè)立子公司全 椒南大光電材料有限公司，進入了特種氣體領(lǐng)域，其中砷烷、磷烷已經(jīng)成功量產(chǎn)并供應(yīng) 多家客戶，公司正在推進光刻膠及配套材料業(yè)務(wù)和 ALD 前驅(qū)體產(chǎn)品業(yè)務(wù)。在長期的發(fā)展 過程中，公司形成了較為完備的研發(fā)設(shè)計體系，積累了一定的研究成果，通過逐年加大 科研力度，技術(shù)實力得到不斷增強，獲得多項專利。

收購飛源氣體，拓展公司電子特氣發(fā)展空間。2019 年，公司收購山東飛源氣體有限 公司 57.97%股權(quán)，飛源氣體是國內(nèi) NF3 重要供應(yīng)商中唯一民企，主要從事三氟化氮、 六氟化硫及其副產(chǎn)品的生產(chǎn)及銷售，是臺積電、中芯國際、京東方等一線大廠的主要供 應(yīng)商。本次收購對南大光電電子特種氣體業(yè)務(wù)的發(fā)展具有重要的戰(zhàn)略價值，有助于發(fā)揮 南大光電和山東飛源氣體市場互補優(yōu)勢，實現(xiàn)協(xié)同營銷，擴大電子特氣在 LCD、IC 領(lǐng)域 的交叉滲透。

業(yè)績穩(wěn)健增長，電子特氣表現(xiàn)亮眼。公司業(yè)績保持穩(wěn)健增長，2019 年公司營業(yè)收 入為 3.21 億元，同比增長 40.85%，歸母凈利潤為 0.44 億元，同比增長 7.36%，布局的 電子氣體業(yè)務(wù)逐漸成長為支撐公司高速發(fā)展的新動力，電子特氣業(yè)務(wù)占營收比例不斷提 高，2019 年電子特氣業(yè)務(wù)營收為 1.64 億元，同比增長 108.81%，占營收比例為 50.91%， 成為公司新的盈利增長點。

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（報告觀點屬于原作者，僅供參考。報告來源：中泰證券）

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